Thin Film(박막)의  두께 및 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k)를 측정하는 장비 입니다.  빠른 측정 속도로 대면적 샘플 mapping 및 공정 라인 및 in-situ 모니터링에 적합한 장비 입니다



* RCE(Rotating Compensator Ellipsometer) Technology

* 자체 특허Compensator Design

* CCD detector를 이용한 빠른 측정 속도(1-5초)

* UV~NIR (193~1690nm) 700개 파장 동시 측정

* 두께, n,k, Color 측정



* Optical Coating

* Chemistry / Biology

* Conductive Organics

* Semiconductors

* Photovoltaics

* In-Situ