㈜펨토사이언스의 COVANCE는 탁상형 사이즈의 보다 강력한 진공플라즈마 시스템으로, 고객의 다양한 표면처리 요구에 부합하는 솔루션입니다.
(샘플 사이즈: 6인치 웨이퍼 기준)
Key Features:
- 플라즈마 에칭 (중성자 우세)
- 용접을 하지 않은 알류미늄 통가공 챔버 (사이즈: 200 × 220 × 160 mm)
- 챔버내 균일한 가스 흐름 (특허 10-1697205)
- 플라즈마 발생기 (LF: 20~100 kHz / Power: Max. 200W)
- 플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: Max.300W)
- 가스 흐름 제어기 (Max. 200 sccm / 최대 4 라인)
- 시스템 크기: 510 × 525 × 640 mm (W×D×H)
Applications:
- 플렉서블 디스플레이 처리
- 미세유체공학 연구 (PDMS 칩 제작)
- 친수성 / 소수성 처리
- 세정 및 멸/살균
화학 및 신소재 연구