CIONE 6” 한 대로 RIE, PE모드 두가지가 가능하여, 표면의 물질 제거는 물론, 표면 처리도 가능한 장비입니다. (샘플 사이즈: 6인치 웨이퍼 기준)

 

Key Features:

 

Applications:

화학 & 신소재 연구