라비다 110은 연구, 중/소형 생산에 적합한 장비로서, 모재의 형상에 관계없이 모든 표면에 균일한 파렐린 박막을 증착하는 파렐린 코팅장비입니다.

 

Key Features:

• 증발기: Max. 200°C (Upto 10 steps)
• 열분해로: Max. 800°C (3 zoned heater with individual sensors)
• 증착챔버: Solid Block Aluminum (I.D. 200 × L. 420 mm)

 

Applications:

• 전기/전자
• 항공 우주
• 자동차 부품
• 의료기기
• CMP 프로세스 부품

LED 응용