바이타 12”은 수칙형 챔버 RIE 시스템으로서, 다양한 물질의 표면 식각에 효과적인 솔루션을 제공합니다.
Key Features:
- 수직형 챔버 (전극 사이즈: 14.4인치)
- 알류미늄 통가공 챔버 / 균일한 가스 배출
- 균일한 가스 흐름 유지 (특허 10-1701381)
- 플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: 600W)
- 매뉴얼 및 풀-오토 가동이 가능한 소프트웨어
Applications:
- 반도체
- 고분자 식각
- 이차원 반도체
- MEMS
- 바이오 메디컬 분야
화학 & 신소재 공학