바이타 12”은 수칙형 챔버 RIE 시스템으로서, 다양한 물질의 표면 식각에 효과적인 솔루션을 제공합니다.

 

Key Features:

• 듀얼모드: RIE (활성 이온 우세) & PE (중성자 우세)

싱글모드: PE (중성자 우세)

• 수평형 알류미늄 챔버 (사이즈: 330 × 350 × 340 mm)

싱글 / 더블 / 멀티 전극, 확장형 챔버 형태 또한 가능

• 챔버내 균일한 가스 흐름 (특허 10-1697205)
• 플라즈마 발생기 (LF: 20~100 kHz / Power: Max. 300W)

플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: Max.300W)

• 가스 흐름 제어기 (Max. 500 sccm / 최대 4 라인)
• 시스템 크기: 800 × 800 × 1800 mm (W×D×H)

 

Applications:

• 반도체
• 고분자 식각
• 이차원 반도체
• MEMS
• 바이오 메디컬 분야

화학 & 신소재 공학