AETP는 고객사의 요청에 따른 스페셜 소스를 가진 진공플라즈마 장비를 제작하고 있습니다. 일반적인 공기를 사용하는 범용 타입부터 별도의 운용가스를 이용한 MFC 채널 선택이 가능합니다. 제품이 받는 열이 적고 등방성이 우수한 2.45Ghz 마이크로웨이브 방식을 기본으로 채택하였으며, RF 방식의 13.56Mhz도 선택할 수 있습니다.



설계부터 제작까지 고객사의 입장을 반영하여 최적의 시스템 공급이 가능합니다. 표면처리, 식각, 에칭, 코팅까지 다양한 어플리케이션이 있으며, 대기압 및 화염플라즈마 시스템으로 처리가 어려운 복잡한 형상의 제품들은 진공플라즈마 시스템을 이용하여 처리할 수 있습니다.



· 플라즈마 소스 옵션: RF Type: 13.56Mhz  /   Microwave Type: 2.45Ghz

· 플라즈마 파워 조절: 100W~1000W (가변타입)

· MFC 채널: 2 (추가 가능)

· 챔버 사이즈: 500x500x500mm (125ℓ) (주문 제작 가능)