셀러명
엡실론 주식회사 기업유형
제조업 주요품목
전도성 분말 제조 전화번호
031-737-5665 
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제품개요
제품명
세라믹 정전척
제품소개
정전척(Electrostatic Chuck, ESC)은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 웨이퍼(Wafer) 또는 기판(Substrate)을 정밀하게 고정하기위해 사용되는 척(Chuck)입니다. 정전척에 DC전원을 인가시키면 대상물에는 반대의 전위가 대전되고, 대전된 전위에 의해 서로 끌어당기는 힘이 발생하는 원리를 이용하여, 웨이퍼를 고정하는 부품입니다.
파웰 코퍼레이션의 Ceramic ESC는 다음과 같은 스펙가지고 있습니다.
또한 파웰 코퍼레이션은 ESC 수리 사업을 위해 설비를 투자하여, 제품의 자가 개발 및 수리 기능을 강화하고 있습니다.
파웰 코퍼레이션의 Ceramic ESC는 다음과 같은 스펙가지고 있습니다.
또한 파웰 코퍼레이션은 ESC 수리 사업을 위해 설비를 투자하여, 제품의 자가 개발 및 수리 기능을 강화하고 있습니다.
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