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제품개요
제품명
엘립소미터(두께, 굴절률 측정기)
제품소개
Thin Film(박막)의 두께 및 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k)를 측정하는 장비 입니다. 빠른 측정 속도로 대면적 샘플 mapping 및 공정 라인 및 in-situ 모니터링에 적합한 장비 입니다
* RCE(Rotating Compensator Ellipsometer) Technology
* 자체 특허Compensator Design
* CCD detector를 이용한 빠른 측정 속도(1-5초)
* UV~NIR (193~1690nm) 700개 파장 동시 측정
* 두께, n,k, Color 측정
* Optical Coating
* Chemistry / Biology
* Conductive Organics
* Semiconductors
* Photovoltaics
* In-Situ
* RCE(Rotating Compensator Ellipsometer) Technology
* 자체 특허Compensator Design
* CCD detector를 이용한 빠른 측정 속도(1-5초)
* UV~NIR (193~1690nm) 700개 파장 동시 측정
* 두께, n,k, Color 측정
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