반도체장비용 진공게이지 센서

본 진공 센서는 반도체 제조 공정, 분석 장비 및 산업용 진공 시스템에 적용되는 고정밀 압력 센서입니다.

초고진공(1 Torr 이하)부터 최대 1,000 Torr까지의 넓은 측정 범위를 지원하며, 다양한 진공 환경에서도 안정적이고 반복성 높은 측정 성능을 제공합니다. 특히 ±0.25% Reading(1 Torr 이하에서는 ±0.5%)의 높은 정확도를 바탕으로 정밀한 공정 제어가 가능하여, 반도체 공정의 품질 및 생산 안정성 향상에 기여합니다.

아날로그 출력 방식으로 다양한 장비와의 연동이 용이하며, 온도 변화 환경에서도 안정적인 성능을 유지하도록 설계되었습니다. 또한 높은 내압 및 내구성을 확보하여 가혹한 산업 환경에서도 신뢰성 있는 운용이 가능합니다.

본 제품은 반도체 및 첨단 산업 장비에 최적화된 설계로, 정밀 진공 측정이 요구되는 다양한 공정에 안정적인 센서 솔루션을 제공합니다.