Probe Card

프로브 카드 또는 DUT 보드는 인쇄 회로 기판(PCB) 이며 집적 회로와 테스트 헤드 사이의 인터페이스이며 자동 테스트 장비(ATE) (또는 "테스터")에 연결됩니다.
일반적으로 프로브 카드는 웨이퍼 테스트 프로버에 기계적으로 도킹되고 ATE에 전기적으로 연결됩니다. 
그 목적은 테스트 시스템과 웨이퍼의 회로 사이에 전기 경로를 제공하여 일반적으로 회로가 절단 및 패키징되기 전에 웨이퍼 수준에서 회로의 테스트 및 검증을 허용하는 것입니다. 
이는 일반적으로 PCB와 일반적으로 금속성인 일부 형태의 접촉 요소로 구성됩니다.

일반적으로 반도체 제조업체는 각각의 새로운 장치 웨이퍼와 장치 축소(제조업체가 장치의 기능을 유지하면서 장치의 크기를 줄이는 경우)에 대해 새로운 프로브 카드를 요구합니다. 
왜냐하면 프로브 카드는 사실상 범용 패턴을 취하는 맞춤형 커넥터이기 때문입니다. 
주어진 테스터에게 신호를 변환하여 웨이퍼의 전기 패드 에 연결합니다. 
DRAM(동적 랜덤 액세스 메모리) 및 FLASH(플래시 메모리) 장치 테스트를 위한 이러한 패드는 일반적으로 알루미늄으로 만들어지며  측면당 크기 는 40~ 90um 입니다. 
다른 장치에는 구리, 구리 합금 또는 납-주석, 주석-은 등과 같은 다양한 유형의 땜납으로 만들어진 평평한 패드나 융기된 범프 또는 기둥이 있을 수 있습니다.