Electrostatic chuck controller
Power supply for ESC
Seller Name
EPSILON Co., Ltd. Business Type
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Conductive powder manufacturing Phone number
+82-31-737-5665 
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Product Overview
Product Name
Electrostatic chuck controller
Product Description
ESC Controller는 반도체 및 디스플레이 제조 공정 등에서 기판을 하부전극(ESC)에 고정하기 위한 목적으로 사용되는 정전척(ESC)용 전원 공급 장치입니다. 반도체 및 LCD 제조 공정에서 필수적인 역할을 하며, 사용될 때는 기판을 하부 전극에 고정하여 진공 챔버 내에서 공정을 안정화합니다.
또한 파웰 코퍼레이션은 ESC 모델의 시장 내 경쟁력을 높이기 위해 자동 전환 기능 및 부하 방전 기능을 추가하여 안정성을 강화하고 있으며, ESC Controller를 직접 제조 및 공급하고 있습니다.
또한 파웰 코퍼레이션은 ESC 모델의 시장 내 경쟁력을 높이기 위해 자동 전환 기능 및 부하 방전 기능을 추가하여 안정성을 강화하고 있으며, ESC Controller를 직접 제조 및 공급하고 있습니다.
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