Plasma density sensor electrostatic chuck
ESC with built-in plasma density measurement sensor
Seller Name
EPSILON Co., Ltd. Business Type
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Conductive powder manufacturing Phone number
+82-31-737-5665 
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Product Overview
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Plasma density sensor electrostatic chuck
Product Description
PDS ESC는 진공 챔버 내에서 활성하되는 플라즈마의 밀도를 평판형 컷오프 센서를 ESC에 적용한 시스템으로 플라즈마 밀도를 실시가 측정하여 생산 공정 관리를 할 수 있는 신개념의 센서 탑재 ESC 제품입니다.
반도체 식각/증착/세정 등의 핵심 공정에서 웨이퍼(Wafer)에 입사되는 플라즈마 밀도 양이 공정 결과에 결정적 역할을 하기 때문에 플라즈마 밀도가 균일도를 측정할 필요가 있습니다.
파웰 코퍼레이션은 기존 한계점을 극복하는 평판형 플라즈마 센서를 임베디드한 PSD ESC를 제공하며, 반도체 생산 공정 상황에 대한 실시간 관리와 이를 통한 생산 안전화 및 생산 수율 향상에 기여하고 있습니다.
반도체 식각/증착/세정 등의 핵심 공정에서 웨이퍼(Wafer)에 입사되는 플라즈마 밀도 양이 공정 결과에 결정적 역할을 하기 때문에 플라즈마 밀도가 균일도를 측정할 필요가 있습니다.
파웰 코퍼레이션의 PSD ESC 제품은 97% 이상의 측정 정밀도를 가지고 있어, 경쟁 제품들 대비 뛰어난 정확성을 자랑합니다. 이는 고객사의 공정 조정을 할 수 있는 중요한 데이터 제공을 가능하게 하여, 반도체 생산 라인에서의 효율성을 극대화하고 있습니다.
또한, 파웰 코퍼레이션의 PSD ESC는 24시간 가동되는 반도체 생산 라인에서 안정적인 품질 관리를 지원하며, 공정 중 발생할 수 있는 문제를 실시간으로 해결할 수 있는 장점이 있습니다. 이러한 특성 덕분에 파웰 코퍼레이션의 PSD ESC는 생산 수율 향상과 생산 원가 절감 효과를 동시에 얻을 수 있도록 돕고 있습니다.
파웰 코퍼레인션 PSD ESC 스펙과 Controller는 다음과 같습니다.
파웰 코퍼레이션은 기존 한계점을 극복하는 평판형 플라즈마 센서를 임베디드한 PSD ESC를 제공하며, 반도체 생산 공정 상황에 대한 실시간 관리와 이를 통한 생산 안전화 및 생산 수율 향상에 기여하고 있습니다.
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