제품 이미지 - 시오네 6” – 듀얼 모드 진공플라즈마 시스템
제품 동영상 - 시오네 6” – 듀얼 모드 진공플라즈마 시스템

시오네 6” – 듀얼 모드 진공플라즈마 시스템

제품 동영상 - 시오네 6” – 듀얼 모드 진공플라즈마 시스템
제품 이미지 - 시오네 6” – 듀얼 모드 진공플라즈마 시스템
셀러명
(주)펨토사이언스
기업유형
제조업, 도매업, 서비스업
전화번호
0504-1361-0488
store 셀러홈 관심제품 URL복사 카카오톡 공유 카톡공유
file_download제품 카탈로그 다운로드
제품 카탈로그 다운로드 시 해당 셀러에게 알림이 표시됩니다.(표시정보 : 기업명, 부서, 이름, 직위)
셀러에게 문의하기
제품개요
제품명
시오네 6” – 듀얼 모드 진공플라즈마 시스템
 
제품소개

CIONE 6” 한 대로 RIE, PE모드 두가지가 가능하여, 표면의 물질 제거는 물론, 표면 처리도 가능한 장비입니다. (샘플 사이즈: 6인치 웨이퍼 기준)

 

Key Features:

  • 듀얼모드: RIE (활성 이온 우세) & PE (중성자 우세)
  • 용접을 하지 않은 알류미늄 통가공 챔버 (사이즈: 200 × 220 × 160 mm)
  • 챔버내 균일한 가스 흐름 (특허 10-1697205)
  • 플라즈마 발생기 (LF: 20~100 kHz / Power: Max. 200W)
  • 플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: Max.300W)
  • 가스 흐름 제어기 (Max. 200 sccm / 최대 4 라인)
  • 시스템 크기: 510 × 525 × 640 mm (W×D×H)

 

Applications:

  • 반도체 & MEMS
  • 고분자 식각
  • 이차원 반도체 처리
  • 바이오 메디컬 분야

화학 & 신소재 연구

같은 셀러의 인기제품
Plasma Pipette
큐트 – 탁상형 진공플라즈마 시스템
코윈 – 커스텀 진공플라즈마 시스템
코밴스 – 탁상형 진공플라즈마 시스템
이 제품에 관심있는 회원님께 추천합니다
고점도믹서 (플레네터리 믹서)
스프레이코터
능동형고조파필터
대기압 플라즈마 장비