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셀러명
(주)펨토사이언스
기업유형
제조업, 도매업, 서비스업
전화번호
0504-1361-0488
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제품개요
제품명
코윈 – 커스텀 진공플라즈마 시스템
 
제품소개

바이타 12”은 수칙형 챔버 RIE 시스템으로서, 다양한 물질의 표면 식각에 효과적인 솔루션을 제공합니다.

 

Key Features:

  • 듀얼모드: RIE (활성 이온 우세) & PE (중성자 우세)

싱글모드: PE (중성자 우세)

  • 수평형 알류미늄 챔버 (사이즈: 330 × 350 × 340 mm)

싱글 / 더블 / 멀티 전극, 확장형 챔버 형태 또한 가능

  • 챔버내 균일한 가스 흐름 (특허 10-1697205)
  • 플라즈마 발생기 (LF: 20~100 kHz / Power: Max. 300W)

플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: Max.300W)

  • 가스 흐름 제어기 (Max. 500 sccm / 최대 4 라인)
  • 시스템 크기: 800 × 800 × 1800 mm (W×D×H)

 

Applications:

  • 반도체
  • 고분자 식각
  • 이차원 반도체
  • MEMS
  • 바이오 메디컬 분야

화학 & 신소재 공학

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