반도체 챔버 세라믹 부품 코팅
반도체 챔버 및 디스플레이 세라믹 부품 코팅
셀러명
세원하드페이싱 기업유형
제조 주요품목
플라즈마코팅외 전화번호
0504-1361-2536
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제품개요
제품명
반도체 챔버 세라믹 부품 코팅
제품소개
반도체 및 디스플레이 제조공정에서 Dry Etcher chamber 내부는 가혹한 식각환경에 노출되고
이것으로 부터 챔버 내벽과 챔버 내부의 파티클 관리를 위하여 세라믹 부품에 이트리아 코팅을 진행하여
사용하고 있으며 당사는 세라믹 부품의 가공 및 이트리아 (Y2O3) 코팅을 모두 진행하고 있어서
전체 부품의 코팅 및 세라믹 파츠 가공을 동시에 진행이 가능한 업체임.
현재 국내 메이저 업체에 납품하고 있는 1군 업체입니다.
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