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Yttria coating technology for plasma resistance in semiconductor and display dry etcher chamber components, along with sales of ceramic parts
Yttria coating technology for plasma resistance in semiconductor
Seller Name
SEWON HARDFACING Business Type
manufacturing Main Items
Plasma coating, etc. Phone number
+82-504-1361-2536
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Product Overview
Product Name
Yttria coating technology for plasma resistance in semiconductor and display dry etcher chamber components, along with sales of ceramic parts
Product Description
반도체 및 디스플레이 제조공정에서 Dry Etcher chamber 내부는 가혹한 식각환경에 노출되고
이것으로 부터 챔버 내벽과 챔버 내부의 파티클 관리를 위하여 세라믹 부품에 이트리아 코팅을 진행하여
사용하고 있으며 당사는 세라믹 부품의 가공 및 이트리아 (Y2O3) 코팅을 모두 진행하고 있어서
전체 부품의 코팅 및 세라믹 파츠 가공을 동시에 진행이 가능한 업체임.
현재 국내 메이저 업체에 납품하고 있는 1군 업체입니다.
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