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전시 참가 이력
#2025 대한민국 ESG 친환경대전
기업 개요
대표자
배근한
기업 유형
제조업체
설립 연도
1999년
종목
제조·생산·화학업
직원 수
50 ~ 299명
연간 매출액
400억 원 초과 ~ 1,500억 원 이하
주소
경기 이천시 마장면 중부대로 617 영진아이엔디
대표 번호
031-631-3331
기업소개
Plasma Scrubber (PFCs Scrubber)는 반도체 제조 공정 또는 가스를 이용하는 산업에 사용되는 여러 가지 유형의 유해 가스들을 안전하게 처리하여 대기배출 허용농도 이하로 배출시키기 위한 장비입니다.
배출된 가스(폐 가스)는 Plasma Unit에서 처리되며 특히 PFCs 가스는 Plasma Torch에서 분해된 후 부산물 및 수용성 가스들과 함께 Wet Tower에서 처리되는 방식입니다.
특히, CVD, Diffusion, Etching 등의 반도체 제조 공정에서 배출된 불소, 염소, 수소 화합물 및 유해 가스들을 안전하게 처리합니다.
배출된 가스(폐 가스)는 Plasma Unit에서 처리되며 특히 PFCs 가스는 Plasma Torch에서 분해된 후 부산물 및 수용성 가스들과 함께 Wet Tower에서 처리되는 방식입니다.
특히, CVD, Diffusion, Etching 등의 반도체 제조 공정에서 배출된 불소, 염소, 수소 화합물 및 유해 가스들을 안전하게 처리합니다.
