제품 이미지 - COGRADE - Table-top Vacuum Plasma System
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COGRADE - Table-top Vacuum Plasma System

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Femto Science Inc.
Business Type
Manufacturing, wholesale, service industry
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+82-504-1361-0488
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Product Overview
Product Name
COGRADE - Table-top Vacuum Plasma System
 
 
Product Description

㈜펨토사이언스의 COVANCE는 탁상형 사이즈의 보다 강력한 진공플라즈마 시스템으로, 고객의 다양한 표면처리 요구에 부합하는 솔루션입니다.

(샘플 사이즈: 6인치 웨이퍼 기준)

 

Key Features:

  • 플라즈마 에칭 (중성자 우세)
  • 용접을 하지 않은 알류미늄 통가공 챔버 (사이즈: 200 × 220 × 160 mm)
  • 챔버내 균일한 가스 흐름 (특허 10-1697205)
  • 플라즈마 발생기 (LF: 20~100 kHz / Power: Max. 200W)
  • 플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: Max.300W)
  • 가스 흐름 제어기 (Max. 200 sccm / 최대 4 라인)
  • 시스템 크기: 510 × 525 × 640 mm (W×D×H)

 

Applications:

  • 플렉서블 디스플레이 처리
  • 미세유체공학 연구 (PDMS 칩 제작)
  • 친수성 / 소수성 처리
  • 세정 및 멸/살균

화학 및 신소재 연구

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