제품 이미지 - 바이타 12” – 수직형 챔버 RIE 시스템
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바이타 12” – 수직형 챔버 RIE 시스템

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셀러명
(주)펨토사이언스
기업유형
제조업, 도매업, 서비스업
전화번호
0504-1361-0488
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제품개요
제품명
바이타 12” – 수직형 챔버 RIE 시스템
 
제품소개

바이타 12”은 수칙형 챔버 RIE 시스템으로서, 다양한 물질의 표면 식각에 효과적인 솔루션을 제공합니다.

 

Key Features:

  • 수직형 챔버 (전극 사이즈: 14.4인치)
  • 알류미늄 통가공 챔버 / 균일한 가스 배출
  • 균일한 가스 흐름 유지 (특허 10-1701381)
  • 플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: 600W)
  • 매뉴얼 및 풀-오토 가동이 가능한 소프트웨어

 

Applications:

  • 반도체
  • 고분자 식각
  • 이차원 반도체
  • MEMS
  • 바이오 메디컬 분야

화학 & 신소재 공학

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