제품 이미지 - VITA 12” – Vertical Chamber RIE System
제품 동영상 - VITA 12” – Vertical Chamber RIE System

VITA 12” – Vertical Chamber RIE System

제품 동영상 - VITA 12” – Vertical Chamber RIE System
제품 이미지 - VITA 12” – Vertical Chamber RIE System
Seller Name
Femto Science Inc.
Business Type
Manufacturing, wholesale, service industry
Phone number
+82-504-1361-0488
storefront Seller Home Product of interest URL Copy to Clipboard 카카오톡 공유 Share with Kakao
file_downloadDownload Product Catalog
The product catalog downloads a notification to the relevant seller
(display information: business name, department, name, position)
Contact Seller
Write Inquiry
spinner
Product Overview
Product Name
VITA 12” – Vertical Chamber RIE System
 
 
Product Description

바이타 12”은 수칙형 챔버 RIE 시스템으로서, 다양한 물질의 표면 식각에 효과적인 솔루션을 제공합니다.

 

Key Features:

  • 수직형 챔버 (전극 사이즈: 14.4인치)
  • 알류미늄 통가공 챔버 / 균일한 가스 배출
  • 균일한 가스 흐름 유지 (특허 10-1701381)
  • 플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: 600W)
  • 매뉴얼 및 풀-오토 가동이 가능한 소프트웨어

 

Applications:

  • 반도체
  • 고분자 식각
  • 이차원 반도체
  • MEMS
  • 바이오 메디컬 분야

화학 & 신소재 공학

Popular products from the same seller
Plasma Pipette
CUTE – Table-top Vacuum Plasma System
COVANCE – Table-top Vacuum Plasma System
COGRADE - Table-top Vacuum Plasma System
Recommended to members interested in this product
Reactor-Ready
spray coater
Real Time Thickness measurement System
High Viscosity Mixer (Planetary Mixer)