COWIN – Customized Vacuum Plasma System
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Femto Science Inc. Business Type
Manufacturing, wholesale, service industry Phone number
+82-504-1361-0488 
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Product Overview
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COWIN – Customized Vacuum Plasma System
Product Description
바이타 12”은 수칙형 챔버 RIE 시스템으로서, 다양한 물질의 표면 식각에 효과적인 솔루션을 제공합니다.
Key Features:
- 듀얼모드: RIE (활성 이온 우세) & PE (중성자 우세)
싱글모드: PE (중성자 우세)
- 수평형 알류미늄 챔버 (사이즈: 330 × 350 × 340 mm)
싱글 / 더블 / 멀티 전극, 확장형 챔버 형태 또한 가능
- 챔버내 균일한 가스 흐름 (특허 10-1697205)
- 플라즈마 발생기 (LF: 20~100 kHz / Power: Max. 300W)
플라즈마 발생기 (RF: 13.56MHz / Power: Max.300W)
- 가스 흐름 제어기 (Max. 500 sccm / 최대 4 라인)
- 시스템 크기: 800 × 800 × 1800 mm (W×D×H)
Applications:
- 반도체
- 고분자 식각
- 이차원 반도체
- MEMS
- 바이오 메디컬 분야
화학 & 신소재 공학
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